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激光干涉仪:机床导轨平行度垂直度精密测量工具

发布时间:2023/11/9 10:31:30阅读人数:61

激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种域的测量。其中,平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用。
 
传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量,但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺点。而激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触性等优点,能够实现平行度和垂直度的高精度测量。
激光干涉仪sj6000

激光干涉仪平行度测量原理

平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。
激光干涉仪平行度测量

平行度测量配置及应用

平行度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成。Z轴的平行度测量需增添可调转向镜。
 
激光干涉仪平行度测量

激光干涉仪垂直度测量原理

垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。
激光干涉仪垂直度测量

垂直度测量配置及应用

垂直度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、垂直度镜组(含光学直角尺)、SJ6000静态测量软件等组件构成。
激光干涉仪垂直度测量
 

激光干涉仪测量优点

1. 高精度
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、稳定性好的激光频率输出,精度可以达到纳米别,可以准确地测量出平行度和垂直度的微小变化。
2. 非接触性
SJ6000激光干涉仪不需要接触被测物体,不会对被测物体产生影响,也不会因为磨损而导致误差。
3. 快速稳定
SJ6000激光干涉仪采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米的分辨率,测量速度非常快;而且干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,干涉光路稳定可靠,长时间稳定测量。
4. 适用范围广
激光干涉仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
国产激光干涉仪sj6000
总之,激光干涉仪是一种强大的测量工具,可以广泛应用于各种域的平行度和垂直度测量工作。它的出现为各种精密制造和科学实验提供了强有力的技术支持。

原创作者:深圳市中图仪器股份有限公司

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