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报道:晶圆表面三维形貌测量设备操作方法是什么?

发布时间:2023/12/4 14:32:09阅读人数:51

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产品简介
WD4000晶圆表面三维形貌测量设备可广泛应用于衬底制造、晶圆制造、及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、显示面板、MEMS器件等超精密加工行业。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米别工件的厚度、粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

WD4000无图晶圆几何量测系统

性能特点

WD4000晶圆表面三维形貌测量设备自动测量Wafer厚度、表面粗糙度、三维形貌、单层膜厚、多层膜厚。

1、使用光谱共焦对射技术测量晶圆Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等参数,同时生成Mapping图;

2、采用白光干涉测量技术对Wafer表面进行非接触式扫描同时建立表面3D层析图像,显示2D剖面图和3D立体彩色视图,高效分析表面形貌、粗糙度及相关3D参数;

3、基于白光干涉图的光谱分析仪,通过数值七点相移算法计算,达到亚纳米分辨率测量表面的局部高度,实现膜厚测量功能;

4、红外传感器发出的探测光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此计算出两表面间的距离(即厚度),可适用于测量BondingWafer的多层厚度。该传感器可用于测量不同材料的厚度,包括碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅等。

WD4000无图晶圆几何量测系统

检测项目

1、厚度测量模块:厚度、TTV(总体厚度变化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

2、显微形貌测量模块:粗糙度、平整度、微观几何轮廓、面积、体积等。

3、WD4000晶圆表面三维形貌测量设备提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

4、提供几何轮廓分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等;粗糙度分析包括标准ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数;结构分析包括孔洞体积和波谷。

应用案例

1、无图晶圆厚度、翘曲度的测量

晶圆厚度翘曲度测量

通过非接触测量,将晶圆上下面的三维形貌进行重建,强大的测量分析软件稳定计算晶圆厚度、粗糙度、总体厚度变化(TTV),有效保护膜或图案的晶片的完整性。

 

2、无图晶圆粗糙度测量

晶圆粗糙度测量

Wafer减薄工序中粗磨和细磨后的硅片表面3D图像,用表面粗糙度Sa数值大小及多次测量数值的稳定性来反馈加工质量。在生产车间强噪声环境中测量的减薄硅片,细磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次测量数据计算重复性为0.046987nm,测量稳定性良好。

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

公司介绍

Since established in 2002, Chotest Technology Inc. is focusing on the designing and manufacturing of precision dimensional measurement and calibration instruments.

中图仪器

With more than decade professional technology accumulation, Chotest has accumulated rich practical experience and set up a strong team who is specialized in optics, machinery, Electronics and information technology. At present, CHOTEST has more than 100 technology patents and software intellectual property rights. With competence in Micro-Nano motion, 3D Reconstruction of Micro-Nano measurement, 3D Form and Surface Analysis of Micro-Nano measurement, Large-scale 3D Measurement, Precision Sensing Probe and Image processing technology, Chotest is capable to provide the customers with professional precision measurement solution in domains from Nanometer to Hectometer.

 

Our products are widely used by public metrology labs and quality inspection workshops in the automotive, aerospace, machinery, metallurgy, power, and petrochemical industries. Chotest`s service net is covered more than 30 provinces in China, and is also focusing on the development in overseas markets like Europe and APAC.

 

The goal of Chotest is to provide high-end dimensional measurement equipment to manufacturing industry all over the world.

原创作者:深圳市中图仪器股份有限公司

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