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台阶仪探针轮廓仪

型号:CP200

产品价格:电议      采购度:156      发布时间:2023/12/6 14:49:30

仪器产地:中国大陆      所属地区:广东 深圳市

简要描述: CP系列台阶仪探针轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

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产品简介
CP系列台阶仪探针轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面,测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并终转换为数字点云信号,数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。
探针式表面轮廓仪,台阶膜厚仪
1.CP系列台阶仪探针轮廓仪参数测量功能
1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料;
2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲,如在半导体晶圆制造过程中,因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
2.数采与分析系统
1)自定义测量模式:支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式;
2)导航图智能测量模式:支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。
3)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.光学导航功能
配备了500W像素的彩色相机,可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示,进行即时的高精度定位测量。
4.样品空间姿态调节功能
配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。
探针式表面轮廓仪,台阶膜厚仪
性能特点
1.亚埃位移传感器
具有亚埃分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性;
2.超微力恒力传感器
1-50mg可调,以适应硬质或软质样品表面,采用超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的接触式测量;
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,真实地还原扫描轨迹的轮廓起伏和样件微观形貌。
探针式表面轮廓仪,台阶膜厚仪
CP系列台阶仪探针轮廓仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。

公司介绍
Since established in 2002, Chotest Technology Inc. is focusing on the designing and manufacturing of precision dimensional measurement and calibration instruments.
深圳市中图仪器
With more than decade professional technology accumulation, Chotest has accumulated rich practical experience and set up a strong team who is specialized in optics, machinery, Electronics and information technology. At present, CHOTEST has more than 100 technology patents and software intellectual property rights. With competence in Micro-Nano motion, 3D Reconstruction of Micro-Nano measurement, 3D Form and Surface Analysis of Micro-Nano measurement, Large-scale 3D Measurement, Precision Sensing Probe and Image processing technology, Chotest is capable to provide the customers with professional precision measurement solution in domains from Nanometer to Hectometer.
 
Our products are widely used by public metrology labs and quality inspection workshops in the automotive, aerospace, machinery, metallurgy, power, and petrochemical industries. Chotest`s service net is covered more than 30 provinces in China, and is also focusing on the development in overseas markets like Europe and APAC.
 
The goal of Chotest is to provide high-end dimensional measurement equipment to manufacturing industry all over the world.

更新时间:2024/4/25 9:47:17

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