光学测量仪：多原理协同的形貌与参数测量体系

光学测量仪是一类基于光学原理（如干涉、衍射、散射等）实现尺寸、形状、表面特性测量的广义仪器集合，包含白光干涉仪、激光测径仪、工具显微镜等细分品类，覆盖从纳米级微观形貌到百米级大尺寸结构的检测需求。

•白光干涉仪：以白光（宽光谱非单色光）为光源，利用干涉条纹的“零光程差点”定位技术实现纳米级表面粗糙度、台阶高度测量。例如，中图仪器的SuperViewW1白光干涉仪通过精密Z向扫描模块（分辨率0.1nm）与3D建模算法，可测量超光滑光学镜面的Ra（算术平均粗糙度）低至0.01nm，或涡轮叶片表面的微米级磨损深度。
•激光测径仪：采用激光三角法或衍射法，非接触测量线材、棒材、管材的外径尺寸，适用于冶金、线缆行业的高速在线检测（测量速度可达1000件/分钟）。
•工具显微镜：传统光学仪器，通过目镜测微尺与物镜放大（50x~1000x）实现微小零件（如螺丝、齿轮）的长度、角度、螺纹参数测量，现代升级版集成CCD摄像头与软件分析功能，提升数据自动化处理能力。

在半导体制造中，白光干涉仪用于晶圆表面的CMP（化学机械抛光）后平坦度检测；在汽车发动机制造中，激光测径仪实时监控活塞销的直径公差（±0.005mm）；在精密光学元件加工中，工具显微镜验证透镜曲率半径与中心厚度是否符合设计要求。